超純水設備采用預處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
　　超純水設備所生產(chǎn)的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.2兆歐。超純水設備技術(shù)通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，那么反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續(xù)開機的話，那產(chǎn)生的純水水質(zhì)就下降，隨之就加重了純化柱的負擔，則純化柱的壽命就會縮短。終結(jié)果是加大了超純水機的使用成本。
　　超純水設備的工藝流程
　　不銹鋼濾網(wǎng)過濾器→PP精濾→AC活性碳→UF超濾→RO反滲透→RO反滲透→IX純化　　不銹鋼濾網(wǎng)過濾器→PP精濾→AC活性碳→UF超濾→RO反滲透→EDI